大气压等离子体清洗仪原位技术包括侵入式和非侵入式两种诊断技术：侵入式诊断技术对等离子体有扰动，环氧富锌底漆 附着力如探针技术；非侵入式诊断技术对等离子体的扰动是可以忽略的，如光谱诊断技术。在大气压等离子体中，光谱诊断技术是比较常用的诊断技术。光谱诊断技术是对等离子体中发生的复杂物理和化学过程进行诊断
