它可单独用作低真空泵，安徽等离子设备清洗机原理图也可与其他高真空泵组合用作前级泵。体积小、重量轻、噪音低，特别适用于实验室。用途；本泵不能用于含氧量过多、有毒、易爆气体或与泵油发生化学反应或腐蚀铁金属的气体的泵。极限真空≤1.3 Pa。 3.滑阀泵是一种油封机械真空泵。常用于大型真空设备，具有高真空
