惰性气体如氩气（AR）、氮气（N2）、三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、空气以及氧气（O2）和氢气（H2）等活性气体用于不同的清洗工艺。气体的反应机理不同，如何让文案具有附着力活性气体的等离子体具有很强的化学反应性。具有不同性质的气体有不同的污染物选择用于清洁。当一种气体被一种或多种附加气体渗
