选择真空等离子设备是为了更好地保护产品，如何改善碳管膜的亲水性同时又不影响晶圆表面的性能。真空等离子设备用于去除表面（机械）和杂质。 OLED起到真空等离子清洗的作用。从TSP角度：加快贴合和AF镀膜的技术结合/镀膜能力，去除气泡/异物，用各种东西清洗手机触摸屏的基本功。真空等离子装置。真空等离子喷
