(4)压强等离子清洗时的压力与工艺气体的充入流量、真空室漏率和真空泵的有效抽速相关。通常情况下，如何提高钴膜附着力真空室漏率和真空泵的有效抽速是固定值，因此调整工艺气体的充入流量可以达到调整压力的目的。针对不同的材料清洗时，压力也是不同的，这主要取决于充入气体在等离子清洗时的机制，是物理作用还是化学
