一些不聚合的无机汽体(Ar2.N2.H2、02等。)在高频低电压下被刺激,无机涂料附着力产生许多活性粒子,如离子、刺激态和氧自由基。通常在等离子体清洁机中,活化汽体可以划分为两大类:一种是稀有气体的等离子体(如Ar2、N2等);另一种是反应性气体的等离子体(如02、H2等)。以上信息是关于等离子体表