等离子清洗机的应用特点；1.用氧气作等离子体，如何增强铝材表面附着力具有较高的氧化性。氧化光刻胶反应后产生气体，进而达到对靶材的清洗效果。2.以腐蚀气体为等离子体，各向异性好，满足客户蚀刻要求，完成生产目的。3.无论处理靶材的基底类型如何，均可完成整体清洗处理。半导体、金属、氧化物和绝大多数高分子材
