表 1 显示了等离子工艺在半导体制造中的选择和应用。等离子蚀刻和等离子脱胶在半导体制造之前的早期工艺中被选择，大气等离子喷枪并且在大气压下生产的活性材料会造成有机污染。一种替代湿法化学清洗的绿色方法。3.1 基于化学反应的清洗基于表面化学的等离子清洗通常被称为等离子清洗PE。许多气体的等离子体状态可
