等离子体的“活性”成分包括：离子、电子、活性基团、激发态核素（亚稳态）、光子等，大气等离子哪家服务好等离子体表面处理仪利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到光刻胶清洗、改性、灰化等目的。等离子清洗机原理；等离子体是物质存在的一种状态。通常情况下，物质以固态、液态和气态三种状态存在，但在某
