两种新衬底分别是 SI 和 SIC，外延片plasma表面处理机器GAN-ON-SI（硅上氮化镓）和 GAN-ON-SIC（碳化硅上氮化镓）。由于碳化硅和氮化镓的低晶格适应性，氮化镓材料自然可以在碳化硅衬底上生长出高质量的外延，当然制备成本也很高。 GAN材料在LED和RF领域都具有独特的优势。氮化
