虽然碳化硅更多用作衬底材料（相比氮化镓），东莞电晕机厂家之电晕机放电装置但国内仍有企业从事氮化镓单晶生长，主要有苏州纳威、东莞中嘉、上海镓和芯元素基地等。国内从事氮化镓外延片的厂商主要有三安光电、赛微电子、海陆重工、晶展半导体、江苏能华、英诺赛科等。从事氮化镓器件的厂商主要有三安光电、闻泰科技、赛微
保形层粘附的其他挑战包括污染物，外延片plasma刻蚀如释放化合物和残余通量。等离子体处理是清洗电路板的有效方法。等离子体处理可以在不损伤基底的情况下去除污染物。能够提供单级等离子体处理--包括刻蚀回片和擦除--的等离子体处理系统，在柔性电子PCB和基板的制作过程中，每周期最多可达30个面板（面板规
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