25ML/分钟速度。从表3-4可以看出，外延片等离子体表面清洗器C2H4和C2H2的选择性随着CO2的增加和添加量的增加而单调下降。因此，乙烷的转化率随着CO2添加量的增加而增加，但C2H4和C2H2的总收率增加。峰形发生变化。当 CO2 添加量为 50% 时出现极值。另一方面，活性氧进一步与乙烯和
