1,数据的蚀刻效果-物理效应:表面等离子体在许多离子,兴奋的分子、自由基等活性粒子,固体样品表面的影响,不仅消除了原始表面污染物和杂质,而且还产生腐蚀作用,样品表面变得粗糙,构成许多细坑,增加样品的具体外观。2.提高固体表面的润湿功能。激活键能与交联效应:等离子体中的粒子能量为0~20eV，增加电线
