真空等离子清洗装置的原理达到去除物体表面污垢的目的，增加产品表面附着力主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化”。等离子清洗/蚀刻机是一种产生等离子的设备，两个电极安装在密闭容器中形成电场，并用真空室抽出一定的真空。随着气体变稀薄，分子之间的距离增加，分子和离子的自由运动距离也增加。由于电场的作用，它们
