近年来，填料对不锈钢附着力的影响MPCVD技术取得了长足的进步，对天然金刚石沉积工艺参数影响的研究已经成熟，但对MPCVD器件谐振腔的研究仍需进一步研究。微波腔是 MPCVD 器件的重要组成部分。微波腔的不同结构会影响电场的强度和分布，影响等离子体装置的等离子体状态，最终影响天然金刚石的质量和速度。
