等离子体表面处理除胶等离子体清洗机的基本原理及应用；1）脱胶反应原理：氧气是干胶脱除中腐蚀性气体的主要成分。采用高频、微波能弱电解质进行表面处理和等离子清洗机除胶。氧离子、游离氧分子O、氧原子和电子混合物在高频工作电压下与光刻薄膜发生反应:O2-Rarr；O*+O*,CxHy+O*&Rarr；CO2
