电感耦合等离子表面处理机的放电原理和特点是什么？电感耦合等离子表面处理机的放电原理和特点是什么？感应耦合真空（低压）等离子表面处理机正在根据半导体工艺要求开发，塑胶等离子体刻蚀设备应用在晶圆制造中的光刻去除和蚀刻。严格来说，等离子刻蚀已经属于另一类工艺设备。今天，我们将讨论电感耦合等离子表面处理机的
