等离子清洗所需的等离子主要是在真空、放电和其他特殊情况下的某些气体分子中产生的，四川射频等离子清洗机供应如低压气体辉光等离子。简单来说，等离子清洗需要在真空中进行（通常应该保持在Pa左右），所以需要真空泵来产生真空。主要流程如下：首先将待清洗工件送入真空室固定，启动真空泵等装置启动抽真空，抽真空至1
