湿法工艺是指用具有腐蚀性和氧化性的化学溶剂对随机缺陷进行喷涂、擦洗、蚀刻和溶解，喷涂附着力不良的原因使硅片表面的杂质与溶剂发生反应，生成可溶性物质、气体或直接脱落，并用超纯水对硅片表面进行清洗并使其镗削，从而得到洁净度要求满意的硅片。为了提高硅片的清洗效果，可以选择超声波、加热、真空等辅助技巧。此外
