这些被处理材料表面的附着物因退吸附而可被真空泵抽走，附着力不合格不必通过进一步的清洗或中和就可以实现对表面的刻蚀。。低压等离子表面处理技术-等离子清洗在微电子生产过程中，等离子表面处理技术已经开始成为一种不可或缺的工艺过程。而等离子表面处理设备，业内更常见的名称为“等离子清洗机”，也开始为人所熟知。
