当等离子刻蚀机对晶圆表面的光刻胶进行加工时，化学表面改性的定义是啥等离子刻蚀机的清洗可以去除表面光刻胶等有机化合物，根据等离子活化和粗化的作用对晶圆表面进行表面处理。被处理。 ，合理有效。它增强了其表面侵入性。与传统的湿法化学相比，等离子清洗设备的干式壁测试过程更可控、更均匀且不伤害基材。在等离子刻
