它由压力调节和处理部件、带报警输出的减压表、真空电磁阀、流量计等组成。下面是详细的介绍，北方华创刻蚀机介绍帮助大家更好的理解。气动调节处理装置：低气压装置进气由于气体一般是洁净的工艺气体，气体压力调节和处理元件的基本结构主要由压力调节阀和过滤器组成。其主要作用是将气压控制在要求的压力范围内，过滤气体
