根据市场对半导体估计,测涂层附着力划格就每月生产10万片晶圆的20nm的DARM厂来说,产量下降1%将导致每年利润减少30致50百万美元,而逻辑芯片厂商的损失更高。此外,产量的降(低)还将增加厂商原本已经十(分)高昂的资本支出。因而,工艺的优化和控制是半导体生产制程的重中之重,厂商对于半导体设备的要