近年来研究表明，内聚力大于附着力是润湿吗等离子清洗机表面处理机中的低温等离子刻蚀不仅可以形成所需的特殊材料结构，而且可以减少刻蚀过程中的等离子损伤（PLASMA INDUCED DAMAGE，PID）。相应地，减少了在半导体后端蚀刻过程中发生的低介电常数材料损伤（LOW-K损伤）。。您还可以将系统与
