受电场效果，光固化附着力促进树脂它们发生磕碰而构成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以损坏几乎一切的化学键，在任何显露的外表引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学功用，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，然后抵达清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，
