湿法蚀刻技术将声波能量均匀分布在基板表面，先进表面改性技术提高分布能量以支持理想的清洁并确保样品损伤阈值在范围内。该系统具有重现性高、均匀性好、Z级先进的兆声波清洗、兆声波辅助光刻胶剥离和湿法刻蚀等特点。产品可按工艺步骤进行无损检测、化学试剂清洗、刷洗、烘干等。两种湿法刻蚀法和干法刻蚀法优缺点比较：
