提高孔洞、填充物边界的相对高度和包容性，低温真空等离子表面处理机提高封装抗拉强度，降低因不同原材料膨胀系数引起的界面间剪切应力，提高产品稳定性并增加其使用寿命。 2、低温等离子刻蚀机彻底去除了晶圆的表层光刻技术，在等离子活化和微刻蚀的意义上，晶圆表层的处理可以有效提高表层的润湿性。与传统的湿法化学测
