反应室中气体的辉光放电，介质等离子表面清洗器包括离子、电子和自由基等活性物质的等离子体，通过扩散吸附在介质表面，与介质表面原子发生化学反应，形成挥发性物质。在一定的压力下，高能离子也对介质表面进行物理轰击和腐蚀，以去除再沉积反应产物和聚合物。介质层是使用物理和化学过程的组合蚀刻。。★速度快:等离子体
