根据麦克斯韦方程组，介质等离子体表面处理设备可以结合边界条件和材料特性来计算表面等离子体的场分布和色散特性。一般来表面等离子波的电场分布具有以下特点。 1.电场分布沿界面高度局域化，为渐逝波，金属的电场分布比介质的电场分布更集中。一般分布深度与波长在数量级上。 2、在平行于表面的方向上，电场可以传播
