这些通常在整个应用过程中结合使用，介质清洗仪以获得更强的清洁效果。用不同的介质清洗可分为湿法清洗和干法清洗。用液体清洗通常称为湿洗，用介质清洗称为干洗。目前以干洗为主，干洗发展迅速。激光清洗、UV清洗、干冰清洗、PLASMA等离子清洗机等新型清洗设备将以超高精度工业生产技术快速发展，新技术不断应用。
