因为等离子体聚合进程是一个复杂的物理和化学进程，亲水性聚二甲基硅氧烷它对等离子体进程参数有较强的依赖性，因此在堆积进程中可以通过控制等离子体参数完成对生成薄膜性质的控制，使之具有不同特征。例如，在基底表面生成黏附性很好的薄膜或得到很好的薄膜表面强度。。等离子体表面改性的原理等离子体是一种物质能量较高
