在直径2mm范围内，亲水性材料的润湿角()CF()/He作为放电气体，射频功率70W，在硅片上获得了5nm/s的刻蚀速率。该器件可以被认为是N-TECAPPJ中使用的器件的前身。由于平均消耗的功率很小，产生的等离子体射流对环境和被处理材料表面的热效应很小，可以称之为“冷等离子体射流”。射频和高频放电
（巴特那有亲水性材料吗）.jpg)