. 13.56MHz产生的既有物理反应，亲水性好的水面标高又有化学反应，20MHz也有物理反应，但最重要的反应是化学反应。需要以 13.56MHz 或 20MHz 的等离子清洗来激活和修改材料。型腔材料的选择 常见的型腔材料有石英型腔、不锈钢型腔和铝合金型腔，各有其优点。石英腔体较冷且抗反应。铝合金
