低的等离子体功率将显著改善条纹现象，亲水性和疏水性比例是多少这是因为低功率可以减少等离体浓度，从而直接降低了聚合物的生成量，同时，功率的降低也减弱了大气等离子清洗机等离子体对光刻胶的物理轰击，继而减少了等离子体中的[C]的含量，从另一个角度减少了聚合物的生成量。此外，更短的蚀刻工艺时间，减少了总的聚
