这些活性粒子可以与表面材料发生反应，亲水性和水分子有关系吗等离子体在此过程中可以有效地在材料表层产生大量自由基，这种作用在聚合物表面尤为明显。在半导体领域，对反应等离子体的研究一直很活跃。类似于用 CF4 和 O2 的混合物进行等离子清洗，可以通过控制 CF4 的流量来控制反应进程。等离子清洗技术最
