电极间距对等离子清洗均匀性的影响电极的布局对等离子清洗的速度和均匀性有较大影响，较高的亲水性可以说明什么较小的电极间距能够将等离子体限制在狭小的区域从而获得较高密度的等离子体，实现较快速度的清洗。随着间距的增加清洗速度逐渐下降但均匀性逐渐增强。等离子体设备按气体可分为特异性气体等离子体和非特异性气体
