上述工艺生产的致密薄膜是疏水的，二氧化硅清洁机没有孔隙。然而，为了在短时间内生产出高质量的薄膜，需要优化工艺参数，尤其是在阻隔层应用领域。有机硅薄膜可以通过在等离子体环境中分解有机硅树脂，在硅原子与氧、氮或它们的混合气体反应时沉积二氧化硅、氧化硅或氮化硅薄膜而获得。诸如乙炔之类的有机气体被用作类金刚
