电感耦合式等离子体（ICP）是等离子产生的一种新型方式，脱模剂上二次喷漆附着力差与传统的电容耦合等离子不同，其等离子产生和维持除了电场作用，还有感应磁场和二次电场作用。电感耦合式等离子是等离子研究后期出现的一种新型的方式，其机理是感应线圈中的交流电场，在反应室内耦合感应产生二次电场，在低气压状态下激
