PCVD工艺设备包括沉积室、反应物供应系统、放电电源、真空系统和检测系统。气源使用气体净化器去除水和其他杂质,为什么要检测油漆的附着力通过调节器获得所需的流速并与气源同时送至沉积室,以在特定条件下输送所需的产品。温度和等离子体活化,并在工件或基材表面上沉积。因此,PCVD的制造工艺包括等离子体物理工