首先将待清洗的工件送入真空室进行固定，不同情况下油漆附着力要求启动真空泵等装置，抽真空至真空度10PA左右，排出等离子清洗用气体。引入真空室（取决于不同的清洗材料），所选择的气体（氧气、氢气、氩气、氮气等）也不同，并在电极和接地装置之间施加高压，保持在大约 PA，破坏气体，通过辉光放电产生离子。真
