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②等离子体沉积膜可用于光学元件,如增反射膜、防潮、耐磨等膜。在集成光学中,等离子体可以用来沉积具有理想折射率的稳定薄膜,以便在光路中连接元件。胶片的光损耗为0.04 dB/cm。。等离子体被称为物质的第四态,由电子、离子、自由基和中性粒子组成。
LED是可直接将电能转化为可见光的发光器件,它有着体积小、耗电量低、使用寿命长、发光效率高、高亮度低热量、环保、坚固耐用及可控性强等诸多优点,发展突飞猛进,现已能批量生产整个可见光谱段各种颜色的高亮度、高性能产品。
当前用于微埋盲孔清洗的工艺主要是超声波清洗和等离子清洗机等离子体清洗,超声波清洗主要是根据气泡效应实现清洗目的,属于湿法处理,清洗时间较长,且取决于清洗液的去污性能,增加了处理废液的难度。 目前广泛采用的工艺主要是等离子清洗机等离子体清洗工艺,等离子体处理工艺简单、环保、清洗效果明显,针对盲孔结构十分有效。
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将样品放入反应腔内,薄膜附着力国家标准真空泵开始抽气至一定真空度,电源启动便产生等离子体,气体通过反应腔内的等离子体进入反应腔内,与样品表面发生反应,产生挥发性副产物,并由真空泵抽出。一、等离子体表面处理仪等离子在宏观上是电荷平衡 通常情况下,等离子呈现电荷平衡,但在受某种干扰时,电浆内部会出现局部电荷分离,产生电场。
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