6, 密封圈检查真空泵腔内密封圈损坏容易漏油，定制真空等离子清洗机影响排气速度。 7、止回阀检查如果等离子真空系统的止回阀损坏，设备的抽真空能力也会降低。具体的检查和维护程序见上一篇：等离子清洗机为什么不能抽真空？真空泵坏了！。真空等离子清洗机由真空发生器系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔和相
