把充足的能量加到气体上，附着力大于行驶阻力使其离化便变成等离子状态。等离子体的活性物质涵盖：离子、电子、活基、核素激发态(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机在清洗高聚物方面起到了极其重要的作用：1、高聚物表面的重组：在等离子刻蚀机清洗过程中使用的惰性气体会损坏高聚物表面的离子键，从而产生高聚物表面自由
