旋片式真空泵有单级和双级两种，附着力大于向心力等离子清洗机常用的是两级旋片式真空泵，所谓的两级旋片式真空泵就是在两个单级泵串联的结构中。回转叶片真空泵的泵腔内偏心安装有转子，且转子的外圆与泵腔内表面相切，转子上设有两个弹簧槽。转子转动时，靠离心力和弹簧的弹性力保持旋转叶片的顶部与泵腔壁接触，转子转动
