等离子体与工件表面的化学反应与传统的化学反应有很大的不同。由于高速电子的轰击，附着力和硬度的区别许多在室温下非常稳定的气体或蒸气以等离子体的形式与工件表面发生反应，产生许多奇特而有用的效果。清洗和蚀刻:例如，清洗时，工作气体经常是用氧，它是加速电子轰击成氧离子、自由基，氧化性很强。此刻电容两头电压与
