为了降低应力，锌层附着力试验不好必须将沉积温度提高到700℃，这会增加批量生产的热成本，也会增加泄漏。因此，在0.18&亩；小野侧墙是在M时代选择的。底部是快速热氧化(RTO)形成的氧化硅，然后在中间沉积一层薄薄的氮化硅，再沉积一层TEOS氧化硅。先蚀刻TEOS氧化硅，在氮化硅上停刻，再在RTO氧化
