随着微电子行业的快速发展，钢油漆附着力不好的原因等离子清洗技术也越来越多地应用于半导体行业。随着半导体技术的不断发展，对工艺技术的要求也越来越高，尤其是对半导体晶片的表面质量。主要原因是晶圆表面被颗粒和金属杂质污染。严重影响器件质量和良率。在当今的集成电路制造中，超过 50% 的材料因晶圆表面污染问
