具体分类如下:分类 高温等离子 低温等离子 热等离子 低温等离子 温度范围 10^6~10^8K10^3~10^5K10^2~10^5K 热力学特性 热力学平衡 局部热力学平衡 非热力学平衡 适用范围 等离子弧等离子辉光太阳能控制热核聚变高频等离子体电晕放电。等离子 等离子发生器广泛用于蚀刻、脱胶、