不需求有机溶剂，附着力最好的金属油墨对环境也没有污染，归于低本钱的绿色清洗方式作为干法清洗等离子清洗机可控性强，一致性好，不仅完全去除光刻胶有机物，而且还活化和粗化晶圆外表，进步晶圆外表浸润性晶圆清洁-等离子清洗机用于在晶圆凸点工艺前去除污染，还能够去除有机污染、去除氟和其它卤素污染、去除金属和金属
