1、氮化硅材的特性：氮化硅酸盐是一种新型的炙手可热的材料，重庆常压等离子处理机供应商它具有密度小、硬度大、高弹性模量和热稳定性好等优点，在许多领域得到了广泛应用。氮化硅可以代替氧化硅在晶圆制造中使用，因为它的硬度高，可以在晶圆表面形成非常薄的氮化硅薄膜(在硅片制造中，常用的描述薄膜厚度的单位是埃)，
